POLOS生产的加热台350高级版
•电压: 230 VAC

-温度范围: 50 - 230°C
-可编程存储 20 个程序（温度/时间）
-温度均匀性: ±1.0°C
-加热器表面面积: 350 x 350 mm
-适合 1 x 300 mm 晶圆 
- 配备可编程（电动）提升针，设置在待定义的半径内
- 配备接近针，用于在烘烤过程中将晶圆保持在加热板上方
- 配备带孔的真空板，实现硬接触烘烤
-加热块材料: 铝（阳极氧化） 
-外壳材料: 不锈钢
-包括带N2连接的软关闭盖子
-重量: 20kgs