POLOS生产的加热台200 高级版
• 电压: 230 VAC
- 温度范围: 50 - 230°C
- 可编程存储 20 个程序(温度/时间)
- 带声音报警的倒计时器(1-999秒)
- 温度均匀性: ±1.0°C
- 加热器表面面积: 220 x 220 mm
- 适合 1 x 200 毫米晶圆
- 配备可编程(电动)提升针,设置在80mm半径内
- 配备接近针,用于在烘烤过程中将晶圆保持在加热板上方
- 配备带孔的真空板,实现硬接触烘烤
- 功率: 最大. 1200W (200°C 时保持约 550 W)
- 加热块材料: 铝(阳极氧化)
- 外壳材料: 不锈钢
- 包括带N2连接的软关闭盖子
- 重量: 15 kg
- 尺寸: 约450 x 320 x 135 mm *尺寸不含铰链盖