Wenesco生产的晶圆制造用加热板 三区加热盘
产品信息：
Wenesco 加热板可用于在受控温度条件下进行密封、预热、回流和加工。
阳极氧化铝板提供高效、均匀的热传递。
这种独特的真空吸盘的操作员将晶圆放在升起的升降销上，升降销设置为所需的高度和时间周期。在周期结束时，晶圆被放下并用真空密封。当周期完成时，蜂鸣器会向操作员发出信号。板材为阳极氧化铝。电气和电子系统位于密封的不锈钢外壳内。每个直径为 4 英寸的区域均由其自己的可编程数字恒温器控制，温度范围为 29C-375C，温度精度为设定点的 1%。
型号 HP4TV 3 区真空吸盘专为半导体晶圆的湿台、接近或硬烘烤工艺而设计。
